中圖儀器NS系列微納樣品臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，其主要用于臺階高,、膜層厚度,、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。它采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,，同時，其集成了超低噪聲信號采集,、超精細(xì)運動控制,、標(biāo)定算法等核心技術(shù),，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

產(chǎn)品特性

1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性,，滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級分辨率，13um量程下可達(dá)0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)

測力恒定可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面,。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量,。

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,，杜絕運動中的細(xì)微抖動，提高掃描精度,，真實反映工件微小形貌,。

4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺,， Z軸自動升降,、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺

6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

臺階儀軟件包含多個模塊,，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持,。

產(chǎn)品功能

1.參數(shù)測量功能

1）臺階高度：能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準(zhǔn)確測量蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2）粗糙度與波紋度：能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,，分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,，可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS,、Rv,、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù),。

3）應(yīng)力測量：可測量多種材料的表面應(yīng)力,。

2.測量模式與分析功能

1）單區(qū)域測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖設(shè)置掃描起點和掃描長度，即可開始測量,。

2）多區(qū)域測量模式：完成Focus后,，根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十?dāng)?shù)百項掃描路徑所構(gòu)成的多區(qū)域測量模式，一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量,。

3）3D測量模式：完成Focus后根據(jù)影像導(dǎo)航圖完成單區(qū)域掃描路徑設(shè)置,，并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域?qū)挾然驋呙杈€條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設(shè)置，一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建,。

4）SPC統(tǒng)計分析：支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,，針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

3.雙導(dǎo)航光學(xué)影像功能

在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,，在正視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可精確設(shè)置掃描路徑,，在斜視導(dǎo)航影像系統(tǒng)中可實時跟進(jìn)掃描軌跡。

4.快速換針功能

采用了磁吸式測針,，當(dāng)需要執(zhí)行換針操作時,，可現(xiàn)場快速更換掃描測針，并根據(jù)軟件中的標(biāo)定模塊進(jìn)行快速標(biāo)定,，確保換針后的精度和重復(fù)性,，減少維護(hù)煩惱。

磁吸針實物外觀圖（330μm量程）

NS系列微納樣品臺階測量儀在測量膜厚方面,，它利用光學(xué)干涉原理,，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高,、測量速度快,、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度,，包括金屬,、陶瓷、塑料等,。如針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,，NS200臺階儀提供如下便捷功能：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位,；

2）對于批量樣件,，提供自定義多區(qū)域測量功能，實現(xiàn)一鍵多點位測量,；

3）提供SPC統(tǒng)計分析功能,，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢；

NS系列臺階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強,，其對被測樣品的反射率特性,、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏,、光學(xué)加工,、LED、MEMS器件,、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位,，其對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對于相關(guān)材料的評定,、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）